如表所示，每立方米将大于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A级。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。
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⑴自净时间：是指无尘室按设计换气次数开始送风到无尘室，室内含尘浓度达到所设计的净化级别的时间。1,000级希望不超过20min（分钟，可取15min计算）10,000级希望不超过30min（分钟，可取25min计算）100,000级希望不超过40min（分钟，可取30min计算）
⑵换气次数（按上述自净时间要求设计）1,000级 43.5-55.3次/小时（规范：50次/小时）10,000级 23.8-28.6次/小时（规范：25次/小时）100,000级 14.4-19.2次/小时（规范：15次/小时）
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